由于技術的改善，三坐標測量機提供更快速和正確的尺寸檢驗，并且可將組件設計的數據庫輸入計算機控制的三坐標測量儀做成檢驗程序。在尺寸測量設備與CAD系統間的DMIS已經被發展完成，藉以雙向溝通。在制造整合系統和自動化領域，超強的管制能力和實用性軟件允許三坐標測量儀和計算機、機器和CAD/CAM系統聯機。測量路徑可事先在CAD圖面上進行規劃并模擬動作，待確認后此測量路徑即可轉成DMIS格式輸出至CNC式三坐標測量儀使用。

　　目前在大量制造的廠商，如通用GM、FORD、Chrysler等公司為自動測量的領導者。而計算機控制的三坐標測量儀器有速度、準確度、節省勞力及系統整合的優點。因為它有很多好處，所以許多手動三坐標測量機使用者均改用自動的三坐標測量儀，并發現改用自動三坐標測量儀后，成本控制變得非常容易。而且時間縮短為十分之一，并且保證重復性及準確度。而且CNC式三坐標測量儀允許測量復雜的工件和擁有專用軟件，如此可做輪廓測量、掃瞄式測量、數位式測量和齒輪測量。

　　三坐標測量機欲作自動化尺寸檢驗，必須由以下幾個趨勢所共同達成的。

　　測量速度

　　在生產環境下對于制程的確認，生產量是機器生產力的指針，而三坐標測量儀的測量率。通常是指每秒測量點數的能力，對于復雜的工件其測量點需在短時間快速移動下測量數十點到數百點。三坐標測量儀最快速的接觸式觸發探頭的測量率可超過每秒測量兩點，一些光學式三坐標測量儀的測量速度比傳統式的測量快10至100倍。無論如何，測量的準確度必須考慮使用什么種類的三坐標測量儀。

　　測量精度

　　三坐標測量儀制造商為了改善機器的精度，因此發展出許多三坐標測量儀的新架構，并利用微電腦做修正。

　　測量程序及軟件

　　三坐標測量機可得大量的測量數據，但若不能將此數據轉換成有意義的數據，則這些數據便毫無用處，因此需要附加一些程序工具 、統計分析和繪圖工具以及數學工具等。

　　三坐標測量機一直在技術方面改進，從很多方面和角度出發一直都在提升三坐標的性能，以及優異性，追求做到更先進，更可靠，更實用。