尼康三坐標測量儀誤差檢測方法可以分成兩大類：一類是用激光干涉儀等儀器檢測尼康三坐標測量儀的各個單項原始誤差;另一類是用球列、球板等實物基準檢測檢測尼康三坐標測量儀的綜合誤差，然后分解出原始誤差。

　　在分解各項原始誤差時，一項重要基礎是尼康三坐標本身有很好的重復性。球列、球板等實物基準需通過激光干涉儀進行檢定，對球板本身的穩定性有較高要求。在由綜合誤差分解為單項誤差時，難免有交叉影響，分解得到的原始誤差的不確定度比用激光干涉儀等直接測量要大。再則，一般步距或球間距不易做得很小，不像激光干涉儀可對尼康三坐標測量儀的各項誤差進行連續檢測。