1、不穩定的沖突所引起：如指針、擺錘軸承不靈活，作業活塞和測力活塞有沖突。可仔細檢查，清洗修整，消除沖突排除故障。

　　2、帶動測力活塞轉動的皮帶脫落。掛上皮帶即可。

　　3、三次元測量儀緩沖閥繃簧失效。排除方法配換繃簧。

　　4、用油粘度過大。需求替換粘度適合的油排除故障。

　　5、齒桿彎曲。則需求校直或替換齒桿。

　　6、三坐標測量儀齒桿與齒輪嚙合不良或齒桿與上面的繃簧片碰擦。可通過調整齒桿與齒輪的嚙合及繃簧片的方位排除。

　　7、三次元測量機工作臺上的導輪與立柱碰擦。可通過調整導輪與立柱的空隙，堅持大約0.5mm空隙排除故障。