SiGNUM是一款高精度光柵產(chǎn)品，采用IN-TRAC自動(dòng)調(diào)相參考零位，可讀取各種20μm柵距柵尺。SiGNUM光柵使用極為方便，其優(yōu)異的性能可與價(jià)格昂貴、柵距更小的光柵系統(tǒng)媲美。SiGNUM系統(tǒng)包含SiGNUMSR讀數(shù)頭、SiGNUMSi接口和直線或圓形增量式柵尺。直線柵尺包括RELMZeroMet柵尺和RSLM不銹鋼柵尺，而圓形柵尺包括RESM不銹鋼圓光柵和超高精度REXM圓光柵。
　　工作原理
　　與RG2和RG4讀數(shù)頭一樣，SiGNUM讀數(shù)頭光學(xué)器件采用對(duì)多個(gè)光柵周期進(jìn)行平均的技術(shù)，有效濾除臟污等引起的非周期性特征。名義方波光柵條紋也被濾去，以在探測(cè)器上留下一個(gè)完美的正弦波形。這里使用的是一個(gè)多條紋結(jié)構(gòu)，它非常細(xì)，能夠產(chǎn)生4個(gè)對(duì)稱相位信號(hào)形式的光電流。這些結(jié)合在一起可免去DC器件，并可產(chǎn)生具有高光譜純度和低偏置值的正弦和余弦輸出，同時(shí)保持500kHz以上的帶寬。
　　SiGNUM接口內(nèi)部采用動(dòng)態(tài)信號(hào)調(diào)節(jié)功能生成超高保真的增量信號(hào)，其中包括自動(dòng)增益控制(AGC)、自動(dòng)偏置控制(AOC)和自動(dòng)平衡控制(ABC)。因此，電子細(xì)分誤差(SDE)僅為±30nm，相當(dāng)于0.15%的柵距。在SiGNUMSi接口內(nèi)，通過(guò)CORDIC算法進(jìn)行細(xì)分。
　　IN-TRAC參考零位嵌入增量式柵尺中，并由讀數(shù)頭中的分離光電檢測(cè)器進(jìn)行檢測(cè)，產(chǎn)生參考零位輸出，在所有的速度下雙向重復(fù)精度都能夠達(dá)到單位分辨率。這種獨(dú)特的設(shè)計(jì)也受益于自動(dòng)校準(zhǔn)程序，該程序?qū)⒖剂阄贿M(jìn)行電子定相，并優(yōu)化增量信號(hào)。