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產(chǎn)品詳細(xì)
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技術(shù)參數(shù)
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技術(shù)特點
TONiC是一種超小型光柵產(chǎn)品,可讀取各種20μm柵距柵尺。其主要特征是IN-TRAC?參考零位,只需輕按按鈕即可自動調(diào)相,十分獨特。TONiC系統(tǒng)包含讀數(shù)頭、模擬量或數(shù)字量接口,以及直線或者圓形增量式光柵。直線柵尺包括RGSZ輕薄型鍍金柵尺、RELMZeroMet柵尺、RSLM不銹鋼柵尺和RTLC-S自貼式鋼帶柵尺,同時也提供導(dǎo)軌安裝型FASTRACKRTLC直線光柵系統(tǒng)。圓光柵包括RESM不銹鋼圓光柵和超高精度REXM圓光柵。
工作原理
TONiC采用雷尼紹最新一代的獨特光學(xué)濾波裝置,與SiGNUM采用的設(shè)計類似,但作了三大重要改進(jìn)。第一,TONiC設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化,信噪比有所提高。光學(xué)濾波系統(tǒng)的這一改進(jìn)加上精選的優(yōu)質(zhì)電子器件,大帶寬增量信號可達(dá)到10m/s的最大速度,同時也是同類光柵中位置抖動(噪聲)最小的。事實上,TONiC接口內(nèi)部的其他抗噪電子器件進(jìn)一步增強了高分辨率型TONiC的抗噪功能,抖動水平僅為0.51nmRMS。
第二大改進(jìn)就是開發(fā)出了完全集成的參考零位。現(xiàn)在參考零位分離式探測器直接嵌入增量碼道線性光電二極管陣列的中心,從而盡量避免出現(xiàn)扭擺失相。
TONiC的第三個改進(jìn)是將高級動態(tài)信號調(diào)節(jié)功能完全集成到讀數(shù)頭中,也就是說可以直接從讀數(shù)頭獲得經(jīng)過徹底處理的信號,該信號通過自動增益控制和自動偏置控制功能進(jìn)行優(yōu)化獲得非常低的SDE(±30nm)。
工作原理
TONiC采用雷尼紹最新一代的獨特光學(xué)濾波裝置,與SiGNUM采用的設(shè)計類似,但作了三大重要改進(jìn)。第一,TONiC設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化,信噪比有所提高。光學(xué)濾波系統(tǒng)的這一改進(jìn)加上精選的優(yōu)質(zhì)電子器件,大帶寬增量信號可達(dá)到10m/s的最大速度,同時也是同類光柵中位置抖動(噪聲)最小的。事實上,TONiC接口內(nèi)部的其他抗噪電子器件進(jìn)一步增強了高分辨率型TONiC的抗噪功能,抖動水平僅為0.51nmRMS。
第二大改進(jìn)就是開發(fā)出了完全集成的參考零位。現(xiàn)在參考零位分離式探測器直接嵌入增量碼道線性光電二極管陣列的中心,從而盡量避免出現(xiàn)扭擺失相。
TONiC的第三個改進(jìn)是將高級動態(tài)信號調(diào)節(jié)功能完全集成到讀數(shù)頭中,也就是說可以直接從讀數(shù)頭獲得經(jīng)過徹底處理的信號,該信號通過自動增益控制和自動偏置控制功能進(jìn)行優(yōu)化獲得非常低的SDE(±30nm)。