震動是影響測量機精度和穩定性的主要因素之一，要使得三坐標測量儀能夠保證足夠的精度，就需要為測量機創造一個合適的環境。那么怎么處理三坐標測量機振動的影響呢？

　　三坐標測量儀若安裝所在處受振動影響較大時，出發點是由制造商提供的機器所能承受的高振動水平，第二步是把這個信息和安裝坐標測量儀所在地的壞的振動特性關連起來，在大多數情況下振動是穩定狀態或引入的振動或沖擊。如果要求測量機達到規范的指標，必須知道測量機安裝地振動性質和幅度的細節。

　　振動的觀察可以了解振動的幅度和頻率，把這些數據與制造商所允許地面振動的極限值相比較，于是可以正確的選擇隔離系統以減少地面振動傳遞到坐標測量儀操作環境中去。

　　對坐標測量儀常應用的隔離設備包括彈性墊(橡皮)，螺旋彈簧和氣動隔離系統，在測量機應用隔離系統前應當研究制造商提供的減振器特性，應當注意到在應用隔離器的同時亦可以用地基或慣性質量來增加系統的穩定性或機器基礎的附加剛性和支持。